Boron11 triklorid halvleder dopingsmiddel halvleder tørr etsing
Produkt introduksjon
Ved normal temperatur og trykk er bortriklorid (BCL 3 ) fargeløs røykgass, som er brennbar, skarp, sur lukt. Bor triklorid dekomponerer i saltsyre og borsyre og frigjør mye varme som møter med vann, det genererer røyk i våt luft på grunn av hydrolyse, og BCL 3 dekomponerer i saltsyre og borsyreester i alkohol. Bor triklorid har en sterk reaksjonsevne og kan danne en rekke koordinasjonsforbindelser. Bor triklorid kan reagere med glass og keramikk når det er oppvarmet, og det reagerer også med mange organiske forbindelser for å danne en rekke organoboronforbindelser. Boron11 -triklorid med høy renhet brukes hovedsakelig til diffusjonsdoping i produksjonsprosessen til (silisium) halvlederenheter. Bor urenheter genereres gjennom nedbrytning av BCL 3 og diffunderer mot silisium for å danne p-type halvleder ved høy temperatur. BCL 3 kan også brukes til tørr etsing av Al, Mosi 2 , Tasi 2 , Tisi 2 , WSI og andre materialer.
Kvalitetsspesifikasjon
|
items
|
Units
|
Index
|
|
Boron11 Trichloride≥
|
Vol.%
|
99.9995
|
|
Oxygen+Argon<
|
Vol.ppm
|
1
|
|
Nitrogen<
|
Vol.ppm
|
4
|
|
Ca
rbon monoxide<
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Carbon dioxide<
|
Vol.ppm
|
0.2
|
|
Methane <
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Total impurity content≤
|
Vol.ppm
|
5
|
|
Metal ion
|
Vol.ppm
|
Supply and demand agreement
|
applikasjon
Bor triklorid kan brukes til å produsere høyt rent bor, katalysator for organisk syntese, fluksemiddel for silikatdekomponering, og det ble også brukt som additiv av deoksidisatorer, nitrider og karbider i alloy raffinering. Høyt rent Boron11 -triklorid brukes hovedsakelig i diffusjonsdoping, ionimplantasjon, tørr etsing og andre prosesser i halvlederenheter og integrert kretsproduksjon.
Emballasje og lagring
Boron11 -triklorid fylles ut i sylinderen. Sylinderen fylt med Boron11 -triklorid samsvarer med de relevante bestemmelsene i GB14193. Emballasjespesifikasjonene inkluderer 10L og 47L. Produktet lagres i et skyggefullt, tørt og ventilert lagerrom under 60 ℃ . Det er forbudt å utsette for solen og holder seg unna varmekilder. Pakken må forsegles, og den skal lagres separat med alkali og andre farlige artikler.
Contact Now
